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光刻机10万零件 中国厂商正逐个零部件突围封锁链


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很多人一提起EUV光刻机,都认为这是人类科技史上工业皇冠,全球独一家,别无分店。


而且在EUV光刻机中,10万多个零件,全球供货,没有任何一个国家能单独制造,ASML真正的核心技术不到10%,是依靠全球化分工,把各部件让全世界顶级的厂商来生产、组装出来的。




比如德国的蔡司做镜头,美国的赛默飞做传感器,日本(专题)的 NSK 做轴承,瑞典的阿法拉伐做阀门。

光刻机10万零件谁造的?

光刻机有最难的三块技术,就是光源、光学系统、精密双工件台系统。其中光源和光学系统技术门槛最高,价值量也最大。

光源占整机15%-20%,光学系统占24%-30%,双工件台占12%左右。ASML把这两块最硬的骨头分别交给美国德国的企业,自己负责把所有零件拼成一台能24小时不停跑的机器。


从技术层面来看,ASML高端EUV光刻机非常难以颠覆与超越。首先EUV制造所需的体积小,功率高且稳定极紫外线光源,这点美国Cymer公司一直掌握着成熟技术,其他国家都是向其采购的。



第二光学系统更是清一色德国血统,EUV光在真空里走,每面镜子都会吸收6%-8%的能量,一台机要11面镜子,加起来光能剩不到1%。所以每面镜子反射率必须做到70%左右。


反射镜面,只有用高精度和高光滑度的镜片才能聚焦和校准光线,从而光线才能精确无误的照射在硅片上来画出微小图案。目前能够达到光刻机要求的镜片标准的厂商也在德国



蔡司从1990年代就开始跟ASML一起搞EUV光学,2012年才交付第一套量产镜组。

ASML为了绑死蔡司,购买了蔡司半导体光学子公司24.9%的股份。现在High-NA EUV镜子直径翻倍,重量上吨,还是只有蔡司能做。
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