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光刻機10萬零件 中國廠商正逐個零部件突圍封鎖鏈


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很多人一提起EUV光刻機,都認為這是人類科技史上工業皇冠,全球獨一家,別無分店。


而且在EUV光刻機中,10萬多個零件,全球供貨,沒有任何一個國家能單獨制造,ASML真正的核心技術不到10%,是依靠全球化分工,把各部件讓全世界頂級的廠商來生產、組裝出來的。




比如德國的蔡司做鏡頭,美國的賽默飛做傳感器,日本(专题)的 NSK 做軸承,瑞典的阿法拉伐做閥門。

光刻機10萬零件誰造的?

光刻機有最難的三塊技術,就是光源、光學系統、精密雙工件台系統。其中光源和光學系統技術門檻最高,價值量也最大。

光源占整機15%-20%,光學系統占24%-30%,雙工件台占12%左右。ASML把這兩塊最硬的骨頭分別交給美國德國的企業,自己負責把所有零件拼成一台能24小時不停跑的機器。


從技術層面來看,ASML高端EUV光刻機非常難以顛覆與超越。首先EUV制造所需的體積小,功率高且穩定極紫外線光源,這點美國Cymer公司一直掌握著成熟技術,其他國家都是向其采購的。



第二光學系統更是清一色德國血統,EUV光在真空裡走,每面鏡子都會吸收6%-8%的能量,一台機要11面鏡子,加起來光能剩不到1%。所以每面鏡子反射率必須做到70%左右。


反射鏡面,只有用高精度和高光滑度的鏡片才能聚焦和校准光線,從而光線才能精確無誤的照射在硅片上來畫出微小圖案。目前能夠達到光刻機要求的鏡片標准的廠商也在德國



蔡司從1990年代就開始跟ASML一起搞EUV光學,2012年才交付第一套量產鏡組。

ASML為了綁死蔡司,購買了蔡司半導體光學子公司24.9%的股份。現在High-NA EUV鏡子直徑翻倍,重量上噸,還是只有蔡司能做。
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